采购内容：原子层沉积系统改造  

招标人：华东理工大学材料科学与工程学院

评标时间：2023年9月17日

中标候选人: 光驰半导体技术（上海）有限公司

投标人如对评标结果有异议，请于2023年9月23日12:00时前以书面形式向华东理工大学材料学院（联系人：董老师，联系电话：021-64251351，地址：华东理工大学徐汇校区实验一楼109室）提出异议，公示期满无质疑，不再另行公告中标结果。